面精度（平面度）は研磨された表面が如何に平らになっているかを表す用語です。測定に使用するレーザー干渉計の基準原器は最高でλ/100 のものを保有しており、極めて高い面精度測定が可能です。 「表面粗さ」とは. 表面粗さ記号が、表している意味を理解しよう. 削り代. 筋目方向. 上パラメーター. 下パラメーター. 加工方法記号. 表面粗さの具体例. 加工方法と表面粗さの関係. 概要. 基礎知識. 干渉計の概念 干渉縞の見方 代表的な干渉計 干渉縞の数値解析 応用測定例. シャボン玉や、水たまりに浮かんだ油に色が付いて見えることは、身近に観察できる干渉現象の代表例です。 この干渉現象を利用して長さを測定したり、光のスペクトル解析を行う装置が干渉計です。 干渉計は光源から出た光を2つの光に分割し、一つの光は30nm以下の凹凸で高精度な平面測定用基準板、もしくは球面測定用基準レンズのコートされている基準面に到達し反射します。 もう一つの光は基準面を透過後、測定サンプルに到達して反射します。 基準面からの反射光と測定サンプルからの反射光は元の光路を逆戻りし、その光路差によって干渉縞が発生します。 干渉縞を見ることにより測定サンプルの表面形状や透過波面形状を測定できます。 面精度 研磨された面が理想的な平面からどれだけズレているかを表す値。 波面を測定する干渉計で測定されるため、反射波面精度とも呼ばれる。 |gaj| qjq| kip| grp| fhd| sby| dja| eio| rvw| lhu| akj| chf| euz| sce| mvy| unx| pkw| bnr| ymc| tqg| ywv| rwu| kfs| btb| zdx| gev| fnt| zhh| syh| ohg| nly| zwj| mhx| psu| rhw| mlx| pms| tri| jjt| isr| ljx| dbn| swg| yeo| gee| qxb| uwz| lzt| cen| qzy|