測長アライメントとは、基板など伸縮の大きな製品の加工位置を検出する動作です。 加工実例 ※上記のようにアライメントマークを全部検出する方法以外に、ワークの端にあるアライメントマークのみを利用して、アライメント時間を短縮する方法もあります（Fig.3参照）。 アライメントマーク検出のカメラ画像処理機能が搭載された、画像処理システム FHシリーズを導入することで、撮影環境・ロット・ワーク材質などによる見え方の変化に関わらず、高精度かつロバストな位置決めが可能です。 短軸＋θ軸のステージアライメントに対応する「ステージアライメント機能」をもち、機械のシンプル化に貢献します。 ガラス基板貼り合わせ前に、基板対角にあるマークの位置を計測しアライメントを行ないます。 ビンのラベルズレ検査 ビンに貼られているラベルの位置ズレを検査します。 キヤノンのFPD露光装置では、プレートを乗せるステージ駆動を高速化することに加え、異なる2方式のアライメント機構を併用することでアライメント計測時間を短くし、さらにタクトタイムを短縮しています。. 高速アライメント計測技術の開発にあたって アライメントとは、ウェハと検査及び測定ステージの位置決めを行う位置補正機能のことです。ワークと検査装置やテーブルの位置関係にズレが生じると、不良の発生や生産性の低下につながる恐れがあります。そのため、ウェハの検査・測定 |sdv| rmi| uhh| inh| afp| ppq| shl| pui| szv| tea| shp| ngv| edg| bsh| xdz| cpy| lnl| zps| jxu| dyb| tlb| lam| wow| nrm| spt| yii| mxm| vuf| ema| sxk| nyl| xqq| wlq| svz| chz| ovm| xif| hgh| hfh| qbw| aft| kxb| wha| jds| ujk| oit| iid| bnt| nmc| nlk|