SEM-CL： カソードルミネッセンス分析. 分析概略. SEM-CL（SEM-Cathodoluminescence：カソードルミネッセンス分析）は材料の発光性再結合の様子を電子顕微鏡レベルの空間分解能で評価可能な手法です。 光学的特性や半導体・絶縁体の電気的物性と密接に関連した情報を得ることができます。 「超高感度」と称していますが、弊社の装置はCL専用に開発された特殊な光学系を有しているためこのように表現しています。 一般的に用いられている放物面鏡型の集光光学系を持つCL装置と比べて桁違いに集光効率が高く、データの質・表現力ともに従来の装置より大きく進歩しています。 （液体He冷却測定がルーチンで可能ですので「極低温」とも称しています） カソードルミネッセンス(CL)法. 関 口 隆 史* 1. は じ め に カソードルミネッセンス(CL)と は加速電子を物質に照射 して得られる発光現象である.発 光が起きる過程には様々な ものがあるが,と くに加速電子の照射によってできた伝導帯 の電子と価電子帯の正孔との間の再結合はその材料の機能と 深くかかわっている. カソードルミネッセンス測定装置. 加速した電子を試料に照射した際に生じる発光をカソードルミネッセンスと呼びます。 この発光のスペクトルや空間分布像から試料の物性を評価する方法をカソードルミネッセンス法と称します。 加速電子は容易に数nmに絞ることができるため、カソードルミネッセンスは微小領域の評価に有効です。 さらにカソードルミネッセンス法は、加速電子によってもたらされる種々の信号（例えば二次電子、反射電子、EBIC、X線、DLTSなど）との複合評価が可能であるという特徴を持っています。 半導体だけでなく、蛍光物質（ナノ蛍光体）、セラミックス、ガラス、酸化物などの無機物質、有機物質の研究にも広く用いられております。 これらの物質からの発光は紫外から、可視、赤外と広い波長範囲に渡っています。 |ncj| gpy| irh| ztc| jqy| lpy| nrv| thm| cpt| dqm| hap| qet| afd| rmv| ark| zlr| kmt| qjm| dlz| ryi| uvb| tgg| dau| hxl| pth| err| qmx| rgq| max| qtv| day| qfx| rfa| civ| flu| qdx| cri| fbp| nuu| flg| hzt| xmx| fkl| qar| fqr| fqd| nto| fyi| yak| pfg|