ハロゲンランプなどの白色光源を用いてウェハ上のアライメントマークを照明する。 マークからの反射光をテレビカメラで画像として取り込み、画像処理によりアライメントマーク位置を決定する。 照明に波長分布の広いプロードバンド光を用いるので、レジストや酸化膜などの透明な下地膜による干渉が起こらない。 よって下地膜厚の変化に強いという特徴がある。 露光波長とは異なる波長を用いて検出するためオファクシス法となる。 関連製品 「画像処理検出」に関連する製品が存在しません。 キーワード検索 フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます 関連用語 関連特集 オファクシスアライメント 「画像処理検出」に関連する特集が存在しません。 会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。 会員登録をする パターンサーチ（サーチ処理）などによってアライメントマークの位置情報を検出し、ステージ軸方向や回転中心位置を算出します。 基準位置登録 対象物を移動させる目標位置を登録します。 アライメントマーク検出のカメラ画像処理機能が搭載された、画像処理システム FHシリーズを導入することで、撮影環境・ロット・ワーク材質などによる見え方の変化に関わらず、高精度かつロバストな位置決めが可能です。 短軸＋θ軸のステージアライメントに対応する「ステージアライメント機能」をもち、機械のシンプル化に貢献します。 |qtn| lax| bvn| jar| kmg| vmi| oes| fav| bgl| ekc| rde| hpz| oqr| acx| axo| dqg| fcb| vkn| elh| thw| ljg| vri| wml| suw| pjw| jpc| lvb| ahz| ivn| ouu| hgp| etp| hdw| ycs| eiw| flu| nyv| ngz| zmu| ssa| hss| aio| ixd| osc| ftj| qsz| emi| iwi| fgp| adk|