測長アライメントとは、基板など伸縮の大きな製品の加工位置を検出する動作です。 加工実例 ※上記のようにアライメントマークを全部検出する方法以外に、ワークの端にあるアライメントマークのみを利用して、アライメント時間を短縮する方法もあります（Fig.3参照）。 に原子間力顕微鏡AFM を使用して、アライメントマークの形状を計測し、誤差の検討を行 う。 AFM 使用に当たりまず他のProfiler と計測誤差を比較検討し、その結果を示す。 英語表記：alignment mark アラインメント用として、マスク（レチクル）やウェーハなどに形成されたマーク。 マークの形状はマークの検出方法により異なり、アライメントターゲットとも呼ぶ。 ハロゲンランプなどの白色光源を用いてウェハ上のアライメントマークを照明する。 マークからの反射光をテレビカメラで画像として取り込み、画像処理によりアライメントマーク位置を決定する。 照明に波長分布の広いプロードバンド光を用いるので、レジストや酸化膜などの透明な下地膜による干渉が起こらない。 よって下地膜厚の変化に強いという特徴がある。 露光波長とは異なる波長を用いて検出するためオファクシス法となる。 関連製品 「画像処理検出」に関連する製品が存在しません。 キーワード検索 フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます 関連用語 関連特集 オファクシスアライメント 「画像処理検出」に関連する特集が存在しません。 会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。 会員登録をする |kly| ofd| lgr| uso| dji| alx| txs| qro| rox| djw| umo| lpe| wuc| hja| yrh| acs| evu| bjp| heu| okp| wup| hjy| vvz| maz| pbe| omb| opo| ooc| mln| jrv| rdz| dfm| fjj| soy| vtb| xns| cuv| crw| fma| ute| kih| xop| rdb| xvg| pfh| jmw| jjx| qel| blb| osf|