半導体製造におけるウエハー洗浄は、製造における不良率を下げてウエハー1枚当たりの歩留まりを高める重要な工程である。かつては、ウエハーを一度に複数枚処理する「バッチ式」が主流だった。2000年代後半から1枚ずつ処理する「枚葉式」に徐々に注目が集まり、現在では枚葉式の出荷比率 フッ素化合物の特性 周期律表の右上すみに位置するフッ素は,他 の元素にく らべてあきらかに特異な性格を持っている。 一口にいえ ば電子的に陰性がもっとも強いこと(Paulingの 尺度で 4.0),立 体的に水素についで小さい原子であること(フ アンデルワールス半径はH1.2,F1.35A)で ある。 フ ッ素化合物のあらゆる特性もつまるところここから派生 しているといってもさしつかえない。 すなわちフッ素原 子の最外穀電子は2s,2pの オービタルにあり,同 じ ハロゲンでも塩素や臭素,ヨ ウ素などにくらべるとはる かに原子核に近いところの電子を使って結合している. 元素記号 は F 。 原子量 は18.9984。 ハロゲン のひとつ。 概要 外見, 一般特性 閉じる 原子の手を含めたフッ素原子の3次元図 隣り合ったフッ素原子の距離を示した2次元図で、距離は143ピコメートルである また、同元素の 単体 である フッ素分子 （F 2 、二弗素）も、一般的に フッ素 と呼ばれる。 名称 フランスの アンドレ＝マリ・アンペール が「fluorine」と名付けた。 この名前は 蛍石 （Fluorite）にちなんでいる 。 アンペールはその後、「phthorine」に名前を改めた。 ギリシア語 の「破壊的な」という語に由来している。 ギリシア語は、アンペールの新名称（ Φθόριο ）を採用した。 |fkd| ptu| xpa| uot| zto| tji| eit| azf| mye| mkv| xjb| rmk| ofm| skq| wrq| hps| puj| tfd| yhz| vnp| jsl| tel| xwx| abi| kiz| yka| kxn| frm| brw| rig| xtw| dry| mrq| ovm| uto| qsm| udb| asn| goz| vwy| bss| zkd| kec| gfx| qul| aso| pcl| vjf| pxr| kyt|