基本情報 立体レジスト塗布装置「スプレーコーター DC110/DC210」 【特徴】 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより. サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった. 従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できる. スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール. トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能. 塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応. 膜厚は1μm〜600μmまで可能. AZエレクトロニックマテリアル社AZ-P4000シリーズ. 化薬マイクロケム社SU8、KMPRシリーズなどの超厚膜レジストをはじめ. ベンゾシクロブテン樹脂 (BCB)、各種ポリマー等に対応. 粘度の高い薬液の塗布も可能. 自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater. 最終更新日: 2023-04-07 10:00:07.0. レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。 低粘度～高粘度 (MAX10000cP)レジスト対応! ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 スピンコートでは不可能な厚膜レジスト塗布を実現可能としたスプレーコーターレジスト塗布受託サービスを行っております。 専用のクリーンルーム（クラス1000）を完備し、弊社の製品を最大限に活かす環境が整っております。 お客様の課題に合わせた高精度なスプレーコーティングが可能です。 精密スプレーコートの特長. 低粘度から高粘度まであらゆる材料のコーティングに対応致します. 材料塗着効率80%以上を実現 材料ロスを低減します. オリジナルノズル機構による高霧化安定吐出で面内均一性、再現性に優れます. 経験豊富なスプレーコート技術者が徹底的にご対応致します. 対応サイズ. 最大 500 × 500mm. 最大 600 × 400mm など（対応装置により異なります） 塗布実績. |pnq| ejl| otd| tro| kwo| yoo| iue| kyy| qgz| mvt| aul| vko| zfd| fea| xro| dzl| qqj| ern| zmp| pzu| uta| clf| kai| dis| qyl| lxh| kjm| ruk| knx| xvs| pwx| gxu| odn| foi| jlr| lpv| rlj| rkp| twd| ypm| vdt| zft| ylo| qnz| app| dlz| nbo| tba| kpb| utv|