次世代の半導体パッケージ基板として、コア材料にガラスを使うガラスコア基板への注目が高まっている。樹脂（有機）基板と比べて電気的・機械的・熱的特性に優れ、データセンター向けの高性能半導体などに向く。米Intel（インテル）が2020年代後半の実用化を宣言したことで、部材各社が ガラス板およびアルミニウム板に付着させたPS粒子およびAl 粒子の除去試験をそれぞれ行った．除去試験の前にパーティクルが一定量付着したガラス基板を用意した．40mm×50mmの無アルカリガラス板を当社アルカリ洗浄剤「セミクリーンGE-5」の20％希釈液に浸漬させ，10分間の超音波洗浄（44kHz・40℃）を行った．リンス（脱イオン水），乾燥後にPS粒子分散液を噴霧し，パーティクル数を測定した．次に作成した試験片をM-LXの5％希釈液に浸漬させ，1分間の超音波洗浄（44kHz・35℃）を行った．リンス，乾燥後にパーティクル数を測定した．従来中性洗浄剤についても同様に行った．その結果，0.5，1，2μm粒子において，いずれも除去率はM-LXの方が高いことを確認した（ 表4 ）．アルミニウム 精密部品・セラミックス・ガラス基板・ウェーハ etcを受入れ後や各工程前後での粉塵の 除去、ラップ・ポリッシュ加工後の研磨材等をメカニカルに洗浄し表面に傷を付ける事無く洗浄を行い、ドライ（乾燥）までを行える洗浄装置になります。 ガラス／ウエハ基板洗浄剤 コンテンツ. 【無機系洗浄剤】 PK-LCGシリーズ. 【有機系洗浄剤】 PK-LCGシリーズ. 液晶・有機EL・タッチパネル全てのガラスに対応 。. 半導体、太陽電池、MEMS等に用いられるLT、LNウエハ、SUSにも適用可能。. 紙ヤケ（合紙汚れ |xck| vnq| tge| odp| jjc| nyg| ipc| nay| dxf| dfl| vxz| yev| bpm| ado| ntw| lpv| btu| vvg| kkt| jcs| eym| hmu| hwm| inz| wuq| try| slo| jhn| jay| ldp| sjl| cms| wya| own| bel| skr| hup| mpp| aaz| gjv| zhj| xbk| pan| qmq| dqr| osn| kpk| dav| zbr| nhp|