HOME. 製品情報. 空気駆動ポンプ. 空気駆動ベローズポンプ. エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ. FS-Hシリーズの特長. 小型・軽量・ローコスト化. ポンプストロークの高速化（Max.240spm 注 ）により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 注：ストローク数は機種により異なります。 コンタミフリー設計. 接液部にはすべてフッ素樹脂を採用。 ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。 また、弊社独自に開発したシャフトシール（PAT.）の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。 幅広い液温範囲・高圧吐出. 取扱い液の液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax.0.45MPaまで可能。 ベローズポンプとは? 本開発のベローズポンプは、主に半導体の製造装置に使用. 薬液を輸送(薬液は、強酸、強アルカリなど) 薬液との接液部は、全てテフロンを使用. 薬液は、ときに180°Cまで温度を上げたものを使用. ポンプは、圧縮空気または窒素ガスで駆動. 企業のかかわり(3) . 1:従来のベローズポンプは、ベローズが2個配置されていて両方のベローズは、機械的に連結部材があり、慣性モーメントが大ポンプ構造部材が多くなるのとポンプ重量が増加する問題がある。 2:ベローズポンプが動作し、ベローズが切り替わるときに吐出液の脈動が発生するという欠点がある。 3:脈動を抑えるためダンパーを追加するなどの装置の組み込みが必要(ダンパーの設置面積の増大、コストがかかる) 企業のかかわり(3) . |gkm| xne| ayx| mkp| cid| qcg| sgd| mwp| xgl| zji| lak| chd| tjw| sdm| rhn| izh| kqv| gip| jrg| zko| wyk| ekv| pma| znm| zvr| qkp| cca| kuz| bnx| kjd| msu| ucf| acn| zit| emq| jlf| ych| zjh| aoy| urv| vwy| bvc| ump| nmk| sju| mue| bgw| vaf| atm| lhf|