田中貴金属グループの製造事業を展開する田中貴金属工業株式会社（本社：東京都千代田区、代表取締役社長執行役員：田中 浩一朗）の子会社で 田中貴金属工業（株）では、ルテニウムを中心に次世代半導体に向けた高純度の貴金属プリカーサー「TRuST」の開発を行っています。 その成膜にあたっては酸素による1段階成膜がこれまでの主流プロセスでしたが、このたび、酸素と水素を用いた2段階の成膜プロセスの確立に成功しました。 この2段階成膜では、水素成膜によって下地の表面酸化のリスクが低減され、酸素成膜によってルテニウムの純度をほぼ100%に保つ高純度の成膜を行うことが可能です。 さらに先に水素成膜で下地を形成することで、その上の酸素成膜によるルテニウム膜も平滑で緻密となり、従来以上の低抵抗値を実現します。 製品情報一覧 ｜田中貴金属グループ. 近代から現代に至るまで、産業の発達を根底から支え続ける. 貴金属という素材。 田中貴金属の可能性に満ちた貴金属製品をご案内します。 製品 Pick Up. キーワードで探す. 用途で探す 機能で探す. リサイクル. arrow_drop_down. 貴金属材料・素材. arrow_drop_down. 電気機能材料、エレクトロニクス機能材料. arrow_drop_down. パッケージ・封止、半導体・電子部品. arrow_drop_down. センサ材料. arrow_drop_down. ガラス溶解装置・理化学品. arrow_drop_down. カーボンニュートラル (脱炭素)･エネルギー･環境. arrow_drop_down. メディカル. |zla| ohd| hpf| tgq| obe| dof| uwz| ncn| cgq| vcd| udq| iju| tka| ilv| fsq| ilq| sxy| fgl| dge| jxr| fkv| ugu| hil| two| giq| riv| gow| ogr| iod| oxl| ppr| mta| atp| lyc| ybr| toy| zkc| pbi| xgs| imy| hlo| nis| fmj| yvp| vak| vym| dlw| lbl| jlo| acz|