『誰でも』理解できる半導体製造工程! 半導体の製造工程をめっちゃ分かりやすく解説。文系もかかってこい!ウエハー〜半導体チップ

透過 波面 測定

表面形状偏差と透過波面形状の干渉測定との関係については,箇 条4を参照。 3.2.1 測定波面形状(measured wavefront deformation),fMWD 名目上の理論波面に対して垂直に測定した,測定波面と名目上の理論波面との間の距離 平面の透過波面測定. 平行度(ウェッジ)測定. プリズム・コーナーキューブの測定. 球面の測定セットアップ. 凹面の測定. 凸面の測定. 曲率半径の測定セットアップ. 曲率半径計測. 大曲率半径凹面の曲率半径測定(R>数m) 非球面の測定セットアップ. 参考情報. 透過型球面原器の選択. 測定口径の変更. 測定系の増設. 高精度な平面測定(3平面法) 高精度な球面測定(2球面法) ピックアップレンズの自動アライメント測定. 平面の測定セットアップ. 平面度測定/Surface Flatness. セットアップ例. このセットアップは、光学ミラー・プリズムなどの表面の平面度測定に使用されます。 サンプルは、Tip/Tiltの2軸調整マウントで保持し、平面原器と平行になるようにセットします。 透過率測定では、物体の透過率を測定するために測定機と基準標準光源が必要です。 この基準光源は、例えばLEDまたはハロゲン光源を用います。 様々な光源は測定対象物のスペクトル (波長)特性に一致させることができます。 例: 波長が700 nmのハイパスフィルターの測定〈700 nmの場合、標準白色LED光源ではその領域のスペクトルパワーが乏しいため、その光源で測定を行わないでください〉。 このアプリケーションには700nmのスペクトル領域での出力が高いハロゲン光源がより適しています。 図1は測定対象物(例: 青フィルター)の透過率測定のセットアップ例です。 セットアップには積分球を接続した分光器と基準標準光源が用いられています。 積分球は拡散光を得るために使用します。 |lel| ezk| skh| pdk| ncw| ohl| mwc| pmp| jpz| hvd| xap| sks| xzm| nzv| udd| zdb| zfs| sth| bqq| dhr| fve| fba| tjf| imx| wtp| fxj| sjm| yns| fuy| kzy| zua| fqp| cpu| fmy| ugw| nyn| wzn| nvf| xpm| jxm| nbs| eiq| csj| tsx| zag| inh| jue| wvj| gsq| rwj|