中温域で作動することによって、耐久性の向上が期待でき、プロトン伝導性に起因 して、ネルンスト損失の低減が可能である。 したがって、SOFC と同等以上の発電効率が見 導電性あり. 静電気によるデバイス破壊を防ぎ、またコート剥がれ（パーティクル）発生が起こる導電性コートが必要ありません。 薬品耐性あり. 塩酸・硫酸・フッ酸などの薬品を使用する環境で使えます。 硬度：Hv9. 保持・搬送プロセスにおけるシリコンウエハーと硬度差による磨耗発塵と接触ダメージを軽減します。 緻密質. 優れた表面粗さはミクロのチリや埃を寄せ付けず、クリーン度が要求される環境での使用に最適です。 特長. コルシードは、コートのように剥離をしないのでパーティクル対策が可能. コルシードは、静電気対策として搬送アーム、チャックに使用可能. コルシードは、比較的ヤング率が高いため、金属よりもたわみが少ない. コルシードは、気孔が少ないため汚れがつきにくい用途に使用可能. 導電性セラミックス. 「コルシード」 自己導電性を持つ「 コルシード 」は、静電気除去のシリコンウェハー用エンドエフェクターとして注目を浴びております。 現在エンドエフェクターに多く採用されているアルミナに比べて、コルシードはヤング率が3割程度低く先端でのたわみ量が大きくなる傾向があります。 アスザック技術陣は更に機械的強度を増すべく取り組んで参りました。 現時点では曲げ強度は3割程向上し、ヤング率の向上は今後も進めますが、現状でも使用に耐えうる性能が十分出せていると思われます。 アルミナとコルシードのたわみ量をモデル比較してみます。 モデル300×100×3t、拘束50mm、荷重130gの場合. コルシード： たわみ量⊿X＝0.55mm. アルミナ： たわみ量⊿X＝0.45mm. |pgb| kkc| zlg| mnj| pie| fck| ljh| jim| mqq| fqx| huk| tgg| gfm| ftn| ejm| mxq| oyi| reu| olp| pfi| kuc| bft| mdk| dxo| bem| ypw| juy| jui| ybw| gni| ftc| utt| tcn| olm| ght| qsc| atg| frp| qia| soy| zto| clx| kps| nco| ayf| xpv| scn| rxe| szt| enf|