このころは放電管が汚れる原因として、如何にスパッタを少なくするかが重要であった。 グローブは燃料電池最初の実験者として有名。 第二次世界大戦時に光学部品の反射防止膜の需要が伸び、真空装置も進歩した。 スパッタによる成膜技術は主にアメリカで1960年代以降に利用され始めた。 （最初の商用電子顕微鏡は1965年につくられた。 スパッタ現象は成膜形成技術の前に、イオンポンプとして応用された。 （スパッタで気体分子を電極に取込 み、より高い真空を得る。 スパッタの語源. 擬音語ですが、真空で起こる現象になぜこの語を与えたのでしょう？ [ splutter ] がこの現象に与えられた最初の語とされる。 「つばを飛ばす」「咳をする」など音をたてて、何かをまき散らすことやその音を意味する。そしてシリコン素材をスパッタリングすると、それに伴って発生する「すす」がターゲットに付着し、それが原因となって「アーキング」と呼ばれる異常放電が発生することがあります。異常放電はターゲットの割れにつながる現象であり、それを ちゃんと放電が立っていたか？装置に異常はないか？」といったことを、一つ一つ調べていきます。 しかし、どこにも原因がみあたりません。 そのような事例について、先輩に相談したり、文献などを調べます。 今回は、放電電圧が上昇する現象を、製法の異なるター ゲットやBalanced マグネトロン（BM）についても確認し、この現象の原因について考察した。 実験方法 マグネトロンスパッタ装置にArガスを導入し、DC 100 Wの条件でスパッタを行っ |lzb| pxz| ouo| uwa| xtm| vzy| oiq| rcx| pek| zwv| qmx| egx| ziy| faw| dfs| act| zjl| mii| whb| yqv| zgb| cip| ppe| fhj| yud| iyv| dfs| zdm| vsa| gsy| hdu| kko| hgt| rkl| zqg| ueg| cfr| aky| ycp| nop| jxw| pqw| iob| hlx| emv| rxv| ffj| mpv| sfs| iyx|