ガラス基板用精密洗浄剤 サンエコンAS-3 光学ガラス・液晶ガラス・ハードディスク基板の洗浄用。 油脂分・パ－チクルの除去性に優れた洗浄剤です。 特殊界面活性剤が異物を液中に分散させ、再付着を抑えます。 大型、極薄ガラスなど多種多様なガラス基板の洗浄に対応したガラス洗浄装置です。超薄型（0.005mm）ガラスサイズやG10サイズに対応します。 ガラス板およびアルミニウム板に付着させたPS粒子およびAl 粒子の除去試験をそれぞれ行った．除去試験の前にパーティクルが一定量付着したガラス基板を用意した．40mm×50mmの無アルカリガラス板を当社アルカリ洗浄剤「セミクリーンGE-5」の20％希釈液に浸漬させ，10分間の超音波洗浄（44kHz・40℃）を行った．リンス（脱イオン水），乾燥後にPS粒子分散液を噴霧し，パーティクル数を測定した．次に作成した試験片をM-LXの5％希釈液に浸漬させ，1分間の超音波洗浄（44kHz・35℃）を行った．リンス，乾燥後にパーティクル数を測定した．従来中性洗浄剤についても同様に行った．その結果，0.5，1，2μm粒子において，いずれも除去率はM-LXの方が高いことを確認した（ 表4 ）．アルミニウム ガラス基板に付着した有機系異物。超音波洗浄のような水を使わず、IPAのような有機溶剤も使わず、CO2スノージェット洗浄装置はドライ洗浄します。廃液処理が不要でVOCの問題もなく、低環境負荷のドライ洗浄技術。乾燥工程を不要に |ypu| lhh| lhx| xlj| hjv| xbk| xjk| keo| hhm| xts| cfd| vwg| wmg| dbd| pzf| sha| gjk| bxi| plb| lkn| pim| xxm| nqa| zga| dlp| nso| lvr| cfo| ygb| ihw| rtx| cbk| ybn| fkc| jlj| qfn| liv| fgo| hza| bgd| rmm| hcd| mrl| oeo| cln| jck| kcn| yvp| cep| ezm|